微型電機(jī)門類繁多，大體可分為超聲波電機(jī)、直流電機(jī)、交流電動機(jī)、自態(tài)角電機(jī)、步進(jìn)電動機(jī)、旋轉(zhuǎn)變壓器、軸角編碼器、交直流兩用電動機(jī)、測速發(fā)電機(jī)、感應(yīng)同步器、直線電機(jī)、電機(jī)機(jī)組、其他特種電機(jī)等13大類。
而超聲波電機(jī)一般由振動體和移動體組成。振動體相當(dāng)于傳統(tǒng)電機(jī)中的定子，由壓電陶瓷和金屬彈性材料制成；移動體相當(dāng)于傳統(tǒng)電機(jī)中的轉(zhuǎn)子，由彈性體和摩擦材料及塑料等制成。
微型超聲波電機(jī)給電機(jī)輸入驅(qū)動電壓后，壓電材料產(chǎn)生壓電現(xiàn)象，同時(shí)發(fā)生的縱向延伸和橫向彎曲模式的激勵在陶瓷指尖的狹小的橢圓通道里產(chǎn)生二維聲波，從而產(chǎn)生驅(qū)動力進(jìn)行直線或旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。但沒有驅(qū)動電壓的時(shí)候能夠維持一個(gè)保持力矩，不產(chǎn)生位移和滯后。
超聲波電機(jī)定位精確，分辨率可達(dá)1μm，精度10nm，運(yùn)動速度平穩(wěn)，低10μm/s，高250mm/s，標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)答時(shí)間為50～75μs，整定時(shí)間明顯優(yōu)于一般伺服電動機(jī)，以0.1μm的分辨率為例，只需1～2ms，為一般伺服電動機(jī)的1/10，定位后沒有一般伺服電動機(jī)存在的晃動問題，而且超聲波電機(jī)具有重量輕，體積小，行程無限制等特點(diǎn)。
目前三階微控微型超聲波電機(jī)已經(jīng)在汽車制造、航空航天、智能機(jī)器人、光學(xué)鏡頭、精密醫(yī)療器械、自動變焦眼鏡等行業(yè)領(lǐng)域中有廣泛應(yīng)用。
