超聲波電機(jī)(Ultrasonic Motor縮寫USM)是以超聲頻域的機(jī)械振動(dòng)為驅(qū)動(dòng)源的驅(qū)動(dòng)器。人耳能感知的聲音頻率，約由50Hz~20kHz之范圍，因此超聲波為20kHz以上頻率之音波或機(jī)械振動(dòng)。以外加交流電壓做驅(qū)動(dòng)源之下的壓電陶瓷會(huì)產(chǎn)生超聲波的交替伸縮現(xiàn)象，雖然伸縮的大小僅達(dá)數(shù)微米程度，但因每秒之伸縮達(dá)數(shù)十萬(wàn)次，每秒可移動(dòng)達(dá)數(shù)厘米。
超聲波電機(jī)研究均是設(shè)計(jì)以不同的方式獲得屈曲彈性波(Flexure Wave)的橢圓運(yùn)動(dòng)，應(yīng)用超聲波電機(jī)的屈曲彈性波可分兩類：
1.駐波型超聲波電機(jī)，此種型式的超聲波電機(jī)其轉(zhuǎn)子被振動(dòng)子的末端所驅(qū)動(dòng)。
2.行進(jìn)波型超音波馬達(dá)，此種型式的超聲波電機(jī)其轉(zhuǎn)子是由一沿著特定方向傳遞前進(jìn)的行進(jìn)波所驅(qū)動(dòng)。雖然駐波型式的超聲波電機(jī)具有較高的機(jī)電轉(zhuǎn)換效率，然而由于行進(jìn)波型式之超聲波電機(jī)，可以瞬間改變方向，且體積、重量等在設(shè)計(jì)上較具彈性，故在一般應(yīng)用上以行進(jìn)波型超聲波電機(jī)為主。
三階微控超聲波電機(jī)與傳統(tǒng)電機(jī)相比，它具有以下特點(diǎn)與優(yōu)點(diǎn)：低速大力矩輸出；功率密度高；起?？刂菩院茫豢蓪?shí)現(xiàn)直接驅(qū)動(dòng)；可實(shí)現(xiàn)精確定位；容易制成直線移動(dòng)型馬達(dá)；噪音?。簾o(wú)電磁干擾亦不受電磁干擾；需使用耐磨材料和高頻電源等。
