超聲電機壓電致動器驅(qū)動的精密滑臺應用，超聲電機高精度（亞微米級別）、體積小、扭力大、適應溫度范圍-40℃到105℃，配合外置或者內(nèi)置閉環(huán)控制進行高精度，可應用于精密測量滑臺產(chǎn)品。
目前滑臺產(chǎn)品，普遍使用步進電機控制馬達，但是方案體積大，精度低，無位置反饋，應用的小滑臺中，由于一般精度無法到達微米級別。
壓電致動器驅(qū)動的滑臺產(chǎn)品，超聲電機高精度、體積小可以將滑臺任意疊放組合，不產(chǎn)生干涉。
微型體積輸出大推力，閉環(huán)控制，將微型高精度閉環(huán)控制系統(tǒng)安裝在微型超聲電機背部，實現(xiàn)位置反饋，運動過程中將信息傳導到超聲電機伺服控制電路從而控制微型超聲電機精準運動。
超聲電機伺服控制電路支持物理限位尋零功能。
滑臺精度達到亞微米級別。使用三階微控超聲電機技術(shù)制作的滑臺具有明顯優(yōu)勢。
