微型電機種類繁多，可分為直流電機、交流電機、步進電機、直線電機、微型電動機、壓電電機、特種電機等等。微型電機無繞組和磁極，無需通過電磁作用產(chǎn)生運動力，而是利用壓電陶瓷的逆壓電效應(yīng)和超聲振動，將材料的微觀變形通過機械共振放大和摩擦耦合轉(zhuǎn)換成轉(zhuǎn)子的宏觀運動。
微特電機在結(jié)構(gòu)上大體可分為3類 ：
1.電磁式
基本組成與普通電機相似，包括定子、轉(zhuǎn)子、電樞繞組、電刷等部件，但結(jié)構(gòu)格外緊湊。
2.組合式
常見的有兩種：上述各種微電機的組合；微電機與電子線路的組合。例如直流電動機與傳感器的組合，X方向與Y方向直線電動機的組合等。
3.非電磁式
外形結(jié)構(gòu)與電磁式一樣，如旋轉(zhuǎn)類產(chǎn)品作成圓柱形，直線類產(chǎn)品作成方形，但內(nèi)部結(jié)構(gòu)因其工作原理不同而差別很大。
最后，實現(xiàn)超聲波驅(qū)動有兩個前提條件：首先，需在電機定子表面激勵出穩(wěn)態(tài)的質(zhì)點橢圓運動軌跡；其次，將定子表面質(zhì)點水平方向的微觀運動轉(zhuǎn)換成轉(zhuǎn)子的宏觀運動或平動。
